Rozdzielczość układów optycznych
Rozdzielczość układów optycznych: Przyczyną skończonej rozdzielczości układow optycznych jest falowa natura promieniowania elektromagnetycznego (a więc i światła). Skutkiem tego jest jego dyfrakcja (ugięcie), gdy przechodzi w pobliżu krawędzi, a także przez otwory o rozmiarach porownywalnych z lambda. W rezultacie obraz krawędzi oraz takich otworow ma charakter prążkow lub pierścieni dyfrakcyjnych, przez co staje się rozmyty.Poprawa parametrów fotolitografi projekcyjnej przez:
-obniżanie k1 - w ogólności zależy od własności układu projekcyjnego (techniki projekcji, parametrów elementów optycznych, własności fotorezystu, ...)
-zwiększanie NA, ale maleje DOF. Można to zrobić przez zwiększanie n (parametr ośrodka przez który naświetlamy). Osiągamy to w fotolitografii imersyjenej w której zamiast powietrza zastosowano wode.
-redukcja lambdy – zastosowanie nowych lamp rtęciowych.
Epitaksja: warstwa narasta tylko w jednym kierunku, w „górę”, poczynając od powierzchni podłoża.
Endotaksja: warstwa narasta w dwóch kierunkach, od podłoża (jak w epitaksji), ale również w jego głąb.
Techniki PVD: Proces syntezy materiału w wyniku reakcji/procesów chemicznych zachodzących pomiędzy lotnymi prekursorami. Reakcje te to dysocjacja i/lub reakcje chemiczne aktywowane termicznie, promieniowaniem elektromagnetycznym bądź w środowisku plazmy. Mają one charakter homogeniczny (przebiegają w objętości gazu) i/lub heterogeniczny (zachodzą na lub w bezpośrednim sąsiedztwie (zazwyczaj grzanego) podłoża). Wymagane jest odpowiedznio niskie ciśnienie.
Powierzchnia wicynalna – powierzchnia tarasowa powstała wskutek cięcia lub polerowania podłoża pod kątem nieco innym (dziesiąte części stopnia) do płaszczyzny krystalograficznej – praktycznie każda powierzchnia. Celowe wprowadzanie wicynalności, bo • proces bardziej efektywny • lepsza jakość warstw. Najkorzystniejszym energetycznie miejscem wbudowywania się atomów jest krawędź tarasu. Im węzszy taras, tym mniej absorbowanych atomów na jednostke czasu, to wolniejszy i bardziej stabilny rozrost progu. Im wiekszy to analogicznie, ale wystepuje nukleacja wysp.
12.12.2008. 11:18
Nad tym rewelacyjnym serwisem na pewno przesiedzisz bardzo wiele czasu: pozycjonowanie gdańsk. Chodząc po globalnej sieci można wypatrzyć wiele różnorodnych witryn internetowych. Uważam, że ta Ci się spodoba: kalkulator kredytowy. Niedawno kumpel nakłonił mnie do obejrzenia tej strony: porównanie kont osobistych. Buszując po globalnej sieci da się wynaleźć dużo wielorakich witryn internetowych. Wydaje mi się, że ta będzie perfekcyjna: projekty domów. Nie zapomnij odwiedzić moją zaprzyjaźnioną stronę internetową: sale konferencyjne kraków.Spis treści
- Granice i bariery rozwoju
- Modyfikacje warstw
- Ultracienkie warstwy
- Rozdzielczość układów optycznych
- Techniki litograficzne