Rozdzielczość układów optycznych

Rozdzielczość układów optycznych: Przyczyną skończonej rozdzielczości układow optycznych jest falowa natura promieniowania elektromagnetycznego (a więc i światła). Skutkiem tego jest jego dyfrakcja (ugięcie), gdy przechodzi w pobliżu krawędzi, a także przez otwory o rozmiarach porownywalnych z lambda. W rezultacie obraz krawędzi oraz takich otworow ma charakter prążkow lub pierścieni dyfrakcyjnych, przez co staje się rozmyty.
Poprawa parametrów fotolitografi projekcyjnej przez:
-obniżanie k1 - w ogólności zależy od własności układu projekcyjnego (techniki projekcji, parametrów elementów optycznych, własności fotorezystu, ...)
-zwiększanie NA, ale maleje DOF. Można to zrobić przez zwiększanie n (parametr ośrodka przez który naświetlamy). Osiągamy to w fotolitografii imersyjenej w której zamiast powietrza zastosowano wode.
-redukcja lambdy – zastosowanie nowych lamp rtęciowych.

Epitaksja: warstwa narasta tylko w jednym kierunku, w „górę”, poczynając od powierzchni podłoża.
Endotaksja: warstwa narasta w dwóch kierunkach, od podłoża (jak w epitaksji), ale również w jego głąb.
Techniki PVD: Proces syntezy materiału w wyniku reakcji/procesów chemicznych zachodzących pomiędzy lotnymi prekursorami. Reakcje te to dysocjacja i/lub reakcje chemiczne aktywowane termicznie, promieniowaniem elektromagnetycznym bądź w środowisku plazmy. Mają one charakter homogeniczny (przebiegają w objętości gazu) i/lub heterogeniczny (zachodzą na lub w bezpośrednim sąsiedztwie (zazwyczaj grzanego) podłoża). Wymagane jest odpowiedznio niskie ciśnienie.
Powierzchnia wicynalna – powierzchnia tarasowa powstała wskutek cięcia lub polerowania podłoża pod kątem nieco innym (dziesiąte części stopnia) do płaszczyzny krystalograficznej – praktycznie każda powierzchnia. Celowe wprowadzanie wicynalności, bo • proces bardziej efektywny • lepsza jakość warstw. Najkorzystniejszym energetycznie miejscem wbudowywania się atomów jest krawędź tarasu. Im węzszy taras, tym mniej absorbowanych atomów na jednostke czasu, to wolniejszy i bardziej stabilny rozrost progu. Im wiekszy to analogicznie, ale wystepuje nukleacja wysp.

12.12.2008. 11:18

W internecie można znaleźć mnóstwo różnych stron. Naszym zdaniem ta jest naprawdę dobra gorenje. Inną stroną, którą warto odwiedzić jest nauka jazdy Kielce, Z pewnością zainteresuje Cię ta strona siemens. Nie zapomnij odwiedzić skup samochodów kraków. Ta witryna także jest ciekawa ranking kart płatniczych.

Spis treści

Reklama

Na tej stronie znajdziesz różne ciekawe rzeczy szukam żony. Ta także powinna Cię zainteresować kalkulator kredytowy, a obok tej na pewno nie przejdziesz obojętnie porównanie kont osobistych. Ta witryna na pewno Ci się spodoba kredyty, a to jest serwis naszego przyjaciela projekty domów.

RSS

Strony partnerskie

Obok tej strony z pewnością nie przejdziesz obojętnie sale konferencyjne kraków, ta również powinna Cię zainteresować saeco, Z tą stroną jesteśmy od dawna kurs języka angielskiego, ta także posiada swoją długą i bogatą historię pożyczki chwilówki, A ta witryna jest po prostu niesamiowita usługi porządkowe.